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2025
- 01월 07일 탄화규소 화학기상 증착장치
- 01월 07일 우수한 평탄도를 가지는 반도체 공정용 트레이 제조방법
- 02월 13일 반도체 제조장비용 이종 접합 샤워헤드 조립체
- 03월 31일 부식방지 구조를 포함하는 탄화규소 화학기상 증착장치
- 10월 29일 탄화규소 가공용 나사탭
2023
- 08월 01일 전해질 기판 제조방법 및 고체산화물 연료전지 제조방법
2022
- 12월 02일 고저항 탄화규소 부품 형성방법 및 고저항 탄화규소 부품
2021
- 04월 22일 배치식 처리장치 및 이를 이용한 탄화규소 제품의 재생방법
2019
- 07월 09일 다단 지지대 및 배치식 처리장치
- 08월 27일 탄화규소 제품의 재생 방법 및 재생된 탄화규소 제품
